近日，芯上微装自主研发的350nm步进投影光刻机顺利通过国内化合物半导体领域头部客户的工艺验证，并获得批量重复订单。

　　AST6200光刻机可广泛应用于功率器件、射频前端、光电子芯片及Micro LED新型显示等制程场景。

　　特别

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