企查查显示，近日，微导纳米科技有限责任公司成立，经营范围包含：新材料技术推广服务；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备制造等。企查查股权穿透显示，该公司由微导纳米全资持股。