我国建成新一代激光波长量子基准 量值溯源实现自主可控
此项研究瞄准国际光波长精密测量的发展趋势,结合国内光波长精密测量在高端仪器研发、集成电路计量等领域的迫切需求,为国产高端仪器研发提供了高精度激光参数标定,有力地保障了激光干涉仪、激光跟踪仪以及高精度光栅干涉仪的国产研发。同时团队提出的系列光波长测量方法,为国家集成电路产业计量中心提供完整的光波长溯源方案,推动其在半导体产业中应用落地。
此项研究瞄准国际光波长精密测量的发展趋势,结合国内光波长精密测量在高端仪器研发、集成电路计量等领域的迫切需求,为国产高端仪器研发提供了高精度激光参数标定,有力地保障了激光干涉仪、激光跟踪仪以及高精度光栅干涉仪的国产研发。同时团队提出的系列光波长测量方法,为国家集成电路产业计量中心提供完整的光波长溯源方案,推动其在半导体产业中应用落地。