5月29日，微导纳米公告，公司拟向不特定对象发行可转换公司债券的募集资金总额不超过11.7亿元。扣除发行费用后，将全部投资于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目、研发实验室扩建项目以及补充流动资金。