先锋精科:光刻机零部件已实现部分产品量产交付

2026-04-21 22:32:55

  在4月21日召开的2025年年度业绩会上,先锋精科董事长、总经理游利回复陶瓷加热器、光刻机部件研发进展时介绍,公司陶瓷加热器研发按计划有序开展,光刻机零部件已实现部分产品量产交付。

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